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半導体製造装置メーカーのニューフレアテクノロジー、芝浦メカトロニクスと資本業務提携

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半導体製造装置メーカーのニューフレアテクノロジー【6256】は、FPD製造装置、半導体製造装置、真空応用装置、レーザ応用装置、 自動販売機等の製造及び販売を主たる事業としている芝浦メカトロニクスと資本業務提携を行うと発表した。

ニューフレアテクノロジーグループは、「最先端の半導体製造装置を通じて、半導体産業と社会、人類の発展に寄与すること」をビジョンとし、半導体製品の製造に用いられる最先端の電子ビームマスク描画装置やマスク検査装置、エピタキシャル成長装置を開発・提供し、半導体産業の発展に貢献している。中でも電子ビームマスク描画装置においては30年以上の開発の歴史を持ち、マスク検査装置においても10年以上の開発の歴史を持つ等、半導体向けフォトマスク製造分野においてリーディングカンパニーとしての地位を築いている。また、半導体ウェーハ処理装置の中で、今後用途の拡大が期待されるパワー半導体向けのSiCエピタキシャル成長装置も、開発から実用化の段階に入っている。さらに、現在は電子ビーム式半導体ウェーハ検査計測装置の開発にも注力しており、マスク製造分野からウェーハ処理装置の分野まで活躍の場を拡大していくと共に、平成29年度以降には中国市場への本格的な進出も計画している。

一方、芝浦メカトロニクスは、「優れた技術・サービスを提供することで、人々の豊かな暮らしに貢献します」を経営理念としており、この経営理念のもとフラットパネルディスプレイ(以下、FPD)、半導体など各種コンポーネンツの製造装置及びサービスを提供している。また、同社は、FPD前工程、FPD後工程、半導体前工程、半導体後工程、真空応用の5分野の事業領域を堅持し、一社で5分野を手掛ける事業形態のメリットを活かしながら、「5分野それぞれでの成長」「分野をまたがる商品開発の促進」「他社との連携による開発のスピードアップ」、さらには「サービス事業拡大の継続」と「2025年を見据えた新規事業の推進」、これらを平成29年度~平成31年度の中期経営計画としている。

このような状況下、芝浦メカトロニクスとニューフレアテクノロジーグループは、本資本業務提携により、両社がこれまでに培った半導体製造装置分野における技術開発力、人材、拠点といった経営のリソースを融合し、既存事業の拡大と新規事業の推進に向けた協業、サービスの拡大等を通じ、両社の企業価値のさらなる向上に取り組んでいく。