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浜松ホトニクス、半導体検査装置光源製造の米エナジティック社を約46億円で買収

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光検出器関連で高技術を有し、光電子増倍管で世界シェア約90%の浜松ホトニクス【6965】は、連結子会社であるホトニクス・マネージメント・コーポ社(以下、PMC)が、半導体検査装置に組み込まれる光源を製造、販売するエナジティック・ テクノロジー社を子会社化(浜松ホトニクスの孫会社化)すると発表した。
取得価格は、約46億円。

半導体検査装置市場では、半導体ウエハ上のパターンや膜厚を検査する工程の作業時間短縮及び測定精度向上のため、高輝度な紫外線領域の光源が求められている。また、今後はさらに微細化が進む次世代の半導体製造技術に対応するため、より波長が短い光源への要求が高まってくると見込まれている。

エナジティック社は、高輝度な光源であるレーザ励起光源(以下LDLS)では市場を独占しており、また、従来の半導体検査用光源よりも波長が短い極紫外線(以下EUV)光源を世界で唯一製品化している会社である。 浜松ホトニクスは、従来からキセノンランプや水銀キセノンランプなど、半導体検査用の光源を開発、販売してきている。

浜松ホトニクスの取り扱う光源にエナジティック社のLDLSおよびEUV光源を加え、浜松ホトニクスグループの製品ラインナップを拡充することで、半導体検査装置市場からの要求に対応していく。

今後、両社が培ってきた光源開発技術を組み合わせることで開発速度を上げるとともに、より高付加価値な製品を開発し、環境分析用途など半導体検査以外の新たな市場を開拓していく。また、浜松ホトニクスは光源に加えて受光素子も生産している世界でも数少ない企業。光源と受光素子を組み合わせ両社の製品性能を最大限に引き出すことで、市場の要求に対し最適な光源と受光素子を展開していく。

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