キヤノン（7751）、半導体加工の米社買収を発表

キヤノン（株）【7751】は14日、半導体ウエハーに回路を形成する工程で次世代技術を持つ米モレキュラーインプリントを買収することを正式に発表した。線幅が10ナノ（ナノは10億分の1）メートル台の先端の微細化に対応しながら低コストで半導体を量産できる装置を2015年から投入する予定。同分野では蘭ASMLやニコンに先行を許しており、モレキュラーの買収を契機に反転攻勢につなげていく狙いだ。キヤノンではモレキュラーを完全子会社化し、半導体部門の社員約70人を引き継ぐ方針。新型装置はキヤノンの宇都宮事業所内の工場で量産する予定で、年間200台以上の販売を目指す。当初は主要メモリーのNAND型フラッシュメモリーでの採用を見込んでおり、DRAMやMPU（超小型演算処理装置）を手掛ける国内外の大手半導体メーカーにも広げていく。モレキュラーの技術は露光と呼ぶウエハーに回路を形成する工程で使用される。凹凸のついた樹脂製の型をウエハーに押しつけて回路を転写する仕組み。特殊な光を原板に透過させてウエハーに回路を焼き付ける現行方式に比べて、装置も含めた製造コストを最大で半分程度まで抑えられると見込まれている。