住友重機械工業、真空ゲージ開発の米ベンチャー企業を10億円で買収

重工大手の住友重機械工業【6302】は、真空ゲージを開発するフェラン・テクノロジー社（Ferran Technology, Inc.）の株式を取得し、子会社化したと発表した。
取得価格は、約10億円。

フェラン・テクノロジー社は、半導体製造装置向け高性能真空ゲージの開発を行うベンチャー企業。従来製品と差別化できるユニークな技術を保有している。

真空ゲージは、半導体製造工程に欠かせない真空チャンバ内の圧力測定を行うための計測器で、住友重機械工業が製造販売しているクライオポンプとともに半導体製造装置のチャンバ内に必要な真空を実現・計測するために不可欠な機器のひとつ。

住友重機械工業は、フェラン・テクノロジー社の持つ技術をもとに製品化を進め、真空ゲージ事業に参入する。クライオポンプで培った生産・品質体制、販売網を活用してシェアを獲得していくことで、真空機器市場において事業領域の拡大を図り、住友重機械工業グループの半導体関連事業の成長に繋げていく。