東京応化工業、米のInpria Corporationに資本参加

フォトレジスト等製造販売の東京応化工業【4186】は、EUVレジストの実用化に向けた取り組みの1つとして、米のInpria Corporation（以下「Inpria社」）への出資を行ったと発表した。出資金額は、約1.8億円（150万米ドル）。

Inpria社は、金属含有EUVレジストの開発に積極的に取り組んでおり、東京応化工業は、今回の出資を通じてInpria社の研究開発を支援するとともに、Inpria社レジストのスケールアップや周辺材料の提供を検討するなど、EUVレジストの実用化に向けた取り組みを推進する考え。